Phenom prox est la cinquième générationMachine tout - en - un de spectroscopie d'énergie de miroir électriqueEst un système d'analyse d'imagerie intégré * avec une résolution améliorée de 20%, ce qui augmente encore la portée de l'application et est plus adapté aux échantillons sensibles au faisceau d'électrons. Grâce à ce système, il est possible à la fois d'observer la topographie de surface de l'échantillon et d'analyser ses composants élémentaires. Lors de l'étude de l'échantillon, obtenir des informations topographiques de l'échantillon ne résout que la moitié du problème. Il est également souvent très nécessaire d'obtenir des informations sur les composants élémentaires d'un échantillon. Grâce à un détecteur de spectre d'énergie entièrement intégré et spécialement conçu, flynarMachine tout - en - un de spectroscopie d'énergie de miroir électriquePhenom prox peut parfaitement résoudre tous les problèmes mentionnés ci - dessus. Un spectromètre d'énergie est un instrument d'analyse qui produit des rayons X basés sur l'excitation d'un échantillon par un faisceau d'électrons. Spectromètre d'énergie phenom quel que soit le logiciel, le matériel est * conception intégrée à flynarDans le système phenom prox. Le logiciel element identification (EID) permet aux utilisateurs d'effectuer des analyses multipoints pour détecter les composants élémentaires d'un échantillon. En outre, le logiciel peut être étendu à la fonction de balayage linéaire d'analyse élémentaire (Mapping). L'interface de fonctionnement étape par étape peut aider les utilisateurs à collecter et exporter les données d'analyse plus facilement.
| Phenom Pro | Le Phenom ProX | Le Phenom XL | |
| Amplification optique | 20 à 135 X | 20 à 135 X | 3 à 16 X |
| Amplification optique électronique | 80 à 150 000 X | 80 à 150 000 X | 80 à 100 000 X |
| Résolution | Meilleur que 8 nm | Meilleur que 8 nm | Meilleur que 14 nm |
| Amplification numérique | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| Caméra de navigation optique | coloré | coloré | coloré |
| Tension d'accélération | 5 kV - 15 kV réglable en continu | 5 kV - 15 kV réglable en continu | 5 kV - 20 kV réglable en continu |
| Mode de vide | Mode haute résolution | Mode haute résolution | Mode haute résolution |
| Mode d'effet de charge réduit | Mode d'effet de charge réduit | Mode d'effet de charge réduit | |
| 高真空模式 | |||
| Le détecteur | Détecteur électronique rétrodiffusé | Détecteur électronique rétrodiffusé | Détecteur électronique rétrodiffusé |
| Détecteur d'électrons secondaires (en option) | Détecteur d'électrons secondaires (en option) | Détecteur d'électrons secondaires (en option) | |
| Taille de l'échantillon | Grand diamètre 32 mm (Ø) | Grand diamètre 32 mm (Ø) | Large 100 mm x 100 mm |
| Peut charger 36 tables d'échantillons de 0,5 pouce simultanément | |||
| Hauteur de l'échantillon | Hauteur 100 mm | Hauteur 100 mm | Hauteur 65 mm |
