Le capteur de pression de la série saphir est composé d'éléments isolants monocristallins saphir, la rigidité forte ne se produit pas le phénomène d'hystérésis, de fatigue et de fluage; Le saphir possède de très bonnes propriétés d'élasticité et d'isolation (jusqu'à 1000 ° c), est insensible aux variations de température et possède de bonnes caractéristiques de fonctionnement, même dans des conditions de température élevée. Les propriétés anti - rayonnement du saphir sont extrêmement fortes; Le capteur de silicium - Saphir utilise la technologie d'épitaxie de silicium pour faire croître une couche mince de silicium sur le diaphragme de saphir, puis le processus de photolithographie pour générer la route de pont de silicium, le processus de dopage lourd pour générer la résistance de contrainte. La route de pont de silicium cultivée sur le saphir n'a pas de nœuds P - N et est donc insensible au rayonnement, tout en n'étant pas affectée par la limite supérieure de température de jonction peut faire des produits de mesure de température plus élevés. Le procédé de dopage lourd mis en oeuvre permet de réduire les 2 contaminations de la route en pont de silicium dans des conditions de température élevée. Ainsi, le saphir peut correspondre à diverses situations de travail complexes, des occasions environnementales. Le capteur a une structure à double membrane, mais la structure du diaphragme est composée: le produit de structure à double membrane est composé d'un diaphragme de mesure en alliage de titane et d'un diaphragme de réception. Le diaphragme récepteur est un diaphragme en saphir soudé par fusion à haute température sur un diaphragme en alliage de titane, le diaphragme de mesure et le diaphragme récepteur sont reliés par une liaison métallique dure, soudés par fusion ou laser. La pression mesurée est transmise au diaphragme récepteur. Sous l'effet de la pression, la membrane réceptrice en alliage de titane produit une déformation qui, après avoir été perçue par l'élément sensible au silicium - saphir, change en sortie de pont, l'amplitude de la variation étant directement proportionnelle à la pression mesurée. Le circuit de pont convertit le signal de déséquilibre du pont en sortie de signal de tension.
◆ large plage de mesure de température
◆ très petite erreur de température
◆ haute précision, haute stabilité
◆ léger et rentable






