Marque: Gatan

Nom modèle: système de mesure de courant induit par faisceau électronique Gatan smartemic

Fabricant: Gatan Corporation

Distributeur: opotong Co., Ltd

Présentation intégrée du produit:

Introduction aux fonctions du produit:

Le système d'analyse ebic, peut contrôler le logiciel en temps réel pour l'acquisition entièrement automatique du signal de courant générateur de faisceau d'électrons (ebic), obtenir des informations d'image ebic, peut également obtenir des informations de courbe IV, zui peut enfin tester la position de la jonction PN, la largeur, la longueur de diffusion des sous - enfants, le positionnement du point de défaillance du matériau ou du dispositif, largement utilisé dans le domaine des semi - conducteurs électroniques.

Caractéristiques du système du produit:

Système ebic haute performance, bruit de la terre, pour effectuer des mesures quantitatives ebic. Le logiciel d'analyse convivial fonctionne sur la plate - forme logicielle digitalmicrograph.

Le système smartebic pour SEM comprend:

• amplificateur ebic contrôlé par ordinateur et alimenté par batterie rechargeable

• Porte - échantillon ebic (Ash) avec sonde tungstène réglable pour le contact de table. Équipé d'un adaptateur Gatan approprié, il est également possible de charger l'échantillon à l'aide d'un verrou à air. *

• interface avec la table d'échantillon SEM

• Prise de liaison et 4 câbles de type BNC, faible bruit cette traversée vide est adaptée à la mesure de l'ebic et du flux de faisceaux d'électrons

• Système de commande numérique de faisceau électronique digiscan II avec technologie fireware. Il comprend deux entrées analogiques pour l'acquisition simultanée d'images de qualité photographique et un contrôle flexible de l'intensité des pixels, du temps de résidence par point, de la rotation du balayage et bien plus encore. Pour certains Sem, il peut également communiquer les paramètres de fonctionnement du SEM via le logiciel.

• Logiciel Digital micrography avec plug - in d'application smartebic avancé pour la mesure quantitative, l'analyse en temps réel et post - traitement des contours linéaires

Principaux paramètres techniques du produit:

Smartebic peut effectuer une acquisition contrôlée automatiquement et une analyse quantitative des signaux ebic:

Système de contrôle de scan:

L'acquisition de données 1, 1 -, 2 ou 4 bits offre une plage dynamique extrêmement large

2, résolution de balayage de 16 x 1 à 8000 x 8000 pixels

3, temps de séjour du faisceau d'électrons, réglable entre 0,5 MS / pixel à 300 MS / pixel

4, ajuster automatiquement la taille d'affichage de l'image, ce qui rend le processus expérimental ebic plus pratique

* 5, Configurez le Contrôleur Digi - scan, le logiciel en temps réel contrôle l'acquisition entièrement automatique, peut effectuer une analyse quantitative du signal lors de l'acquisition du signal ebic, sans post - traitement supplémentaire,

* 6, l'information d'image d'ebic peut être obtenue, également l'information de courbe d'IV peut être obtenue.

Contrôle du bruit:

1. Spécialement conçu ebic table d'échantillon affiliée

2. Méthode coaxiale de bobinage

3. Batterie au plomb réutilisable (15 heures d'autonomie)

4. Peut changer le gain de l'amplificateur, optimiser le rapport signal sur bruit et la bande passante pour l'acquisition de données

5. Deux filtres RC de premier ordre en option, filtre passe - Bas ou passe - haut

6. Mode d'amplification à faible dérive

7. En dehors des heures de communication avec le PC, le microprocesseur du système passe automatiquement en mode veille

8. Outil de traitement d'image riche. Contient des outils d'affûtage, des outils de lissage et des outils de transformation de Fourier, etc.

9. Peut être adapté à la technologie lock - in (ce système n'est pas fourni, un tel système de configuration n'analysera pas quantitativement le signal ebic)

Suivi:

Mise en œuvre par logiciel. + / - 5V à 12bit (1.22mv) pour l'acquisition du module de résolution.

Automatisation:

Même dans des conditions où les paramètres de l'amplificateur sont mal réglés, le système optimise automatiquement la taille d'affichage de l'image, ce qui facilite la navigation de l'image.

Possibilité de réglage automatique du décalage / gain de l'amplificateur

Logiciel:

Mesure de longueur de diffusion unidimensionnelle de flux

Large gamme d'outils d'analyse de balayage de surface / ligne, y compris les outils d'analyse mathématique, les applications de filtrage et plus encore

Large gamme d'options de schéma d'affichage d'image, y compris la superposition d'images électroniques secondaires avec des images ebic

Langages de programmation pour vous aider à écrire des logiciels personnalisés pour vos propres expériences

Principaux domaines d'application du produit:

Test de position de jonction PN, largeur, moins de sous - diffusion longueur matériau métallique

Localisation du point de défaillance du matériau ou du dispositif

Tester la densité de dislocations des matériaux semi - conducteurs

IV test des caractéristiques

Exemples d'applications:

Application 1: tester la position de jonction PN, largeur, moins de longueur de sous - diffusion

Application II: localisation du point de défaillance du matériau ou du dispositif

Marque: Gatan

Nom modèle: système de mesure de courant induit par faisceau électronique Gatan smartemic

Fabricant: Gatan Corporation

Distributeur: opotong Co., Ltd